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CBTZ自動對位探針臺能對晶片實現自動對位測試,

操作簡單,快捷,測試精度高,具有MAP顯示功能。

與測試儀連接后,能自動完成對各種晶體管芯的電參數測試及功能測試

名稱:CBTZ半自動探針臺
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CBTZ半自動探針臺

主要技術參數

可測片型:3 寸、 4寸、5寸,6寸、8寸

測試硅片單元尺寸:20—200 mil

定位精度:≤ ±0.01mm/110mm

自動對準精度:±0.01mm

誤測率:≤ 1 ‰

全自動對位時間:≤ 15 s

測試速度 45 mil   5.0 pcs/s

50 mil   4.6 pcs/s

87 mil   4.2 pcs/s

步進分辨率:0.001

Z向行程:0~5mm 可調

承片臺轉角θ調節范圍:±20o


CBTZ-3100Z型自動對位探針臺能對晶片實現自動對位測試,操作簡單,快捷,測試精度高,具有MAP顯示功能。它與測試儀連接后,能自動完成對各種晶體管芯的電參數測試及功能測試 。

CBTZ半自動探針臺.jpg


操作方式

CBTZ型自動對位探針臺

提供了清晰直觀的觸屏操作頁面,

手觸點擊即可完成對晶片的自動對位測試。

除此之外還提供了更加簡潔 

便的小鍵盤操作方式,操作者可依據

個人偏好和習慣選擇任意種操作 

CBTZ半自動探針臺軟件界面.jpg

機器軟件的操作界面

CBTZ半自動探針臺小功能鍵盤.jpg

功能小鍵盤

機器功能

具有自動掃描對位功能,對位精度
高、速速快,Windows7界面,動態map
圖顯示測試過程。

具有圓形測試,范圍重測,探邊

測試,范圍打點,回收測試,矩形
測試和脫機打點多種測試功能。

CBTZ半自動探針臺機器功能.jpgCBTZ半自動探針臺測試方法.jpg

具有X、Y、Z三軸運動結構,操作軟

件能對垂直度、平面度進行精度補償,保
證機器的控制精度和工作的穩定性。
具有實時打點、脫機打點和滯
后打點功能。新型打點器,使用時
間長達3天,不滴墨,省去60%的操作時間。
CBTZ半自動探針臺垂直度參數設置.jpgCBTZ半自動探針臺打點設置.jpg

具有Z軸行程分段運動功能,其

分為基本高度、接觸高度、接觸緩沖、

過沖高度和折回高度,并且具有探邊

功能,防止測試過程中探針對芯片的
劃傷和探針與芯片的接觸不良。







測試針痕比例圖片(反光白點為針痕)

CBTZ半自動探針臺高度參數設置.jpg

CBTZ半自動探針臺芯粒數量設置.jpg

多芯粒                               單芯粒


應用案例:

珠海多創科技CBTZ半自動探針臺.png西安鵬泰航空動力技術CBTZ半自動探針臺.png







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