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掃描電子顯微鏡SEM專用主動隔振臺

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名稱:掃描電子顯微鏡SEM主動隔振臺
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掃描電子顯微鏡SEM專用主動隔振臺

KNS ArisMD主動隔振臺


簡介:專為掃描電子顯微鏡設計的主動隔振臺,由多個ArisMD主動隔振模塊構成,獨立模塊,分布式控制。


用途:用于消除或降低地表附近震動源產生的震動,從而消除或減少由于地表震動(包括附近建筑和設備所產生的震動)傳導入SEM掃描電子顯微鏡而引起的震動干擾,保證掃描電子顯微鏡SEM的運行環境和工作狀態。


技術規格:

主動隔振頻率:0.5~100Hz

主動隔振自由度: 6個自由度

震動響應時間:<=0.1Sec

隔振性能:8dB gain on 1Hz (60%~70% @ 1Hz); 20dB gain on 2Hz(>=90% @ 2Hz)

主動隔振模塊尺寸:230mmX270mmX75mm

承載重量:由主動隔振模塊數量決定


主要優勢:

高性能,低成本

結構緊湊,安裝簡易,可直接集成到掃描電鏡底部框架

安裝成本低,安裝時間短(3~5h),安裝后無需再調校掃描電子顯微鏡

獨有的實時性能檢查工具、實時性能調整工具

獨有的遠程服務工具


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