掃描電子顯微鏡SEM專用主動隔振臺

KNS ArisMD主動隔振臺

簡介：專為掃描電子顯微鏡設計的主動隔振臺，由多個ArisMD主動隔振模塊構成，獨立模塊，分布式控制。

用途：用于消除或降低地表附近震動源產生的震動，從而消除或減少由于地表震動(包括附近建筑和設備所產生的震動)傳導入SEM掃描電子顯微鏡而引起的震動干擾，保證掃描電子顯微鏡SEM的運行環境和工作狀態。

技術規格：

主動隔振頻率：0.5～100Hz

主動隔振自由度： 6個自由度

震動響應時間：<=0.1Sec

隔振性能：8dB gain on 1Hz （60%～70% @ 1Hz）； 20dB gain on 2Hz（>=90% @ 2Hz）

主動隔振模塊尺寸：230mmX270mmX75mm

承載重量：由主動隔振模塊數量決定

主要優勢：

高性能，低成本

結構緊湊，安裝簡易，可直接集成到掃描電鏡底部框架

安裝成本低，安裝時間短（3～5h），安裝后無需再調校掃描電子顯微鏡

獨有的實時性能檢查工具、實時性能調整工具

獨有的遠程服務工具