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主動防震系統:主動防震臺&主動防震模塊

K&S主動減震模塊廣泛應用于日本電子JEOL、蔡司ZEISS、日立HITACHI等品牌的大型電子顯微鏡減震,以及半導體設備、大型干涉儀等大型精密設備減震防震;KNS主動隔振臺廣泛應用于各種臺式萊卡Leica、基恩士Keyence等顯微鏡防震以及高精度電子天平、干涉儀、輪廓儀等減震......

名稱:主動防震系統:主動防震臺&主動防震模塊
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主動防震系統:主動防震臺&主動防震模塊


K&S主動防震系統是基于先進技術的,它兼備多達三個獨立的主動隔振層和兩個被動隔振層。這種系統架構的廣泛靈活性允許K&S系統在安裝中獲得最大的性能,特別是在典型防震系統無法使用的情況下。

K&S主動防震系統包括ArisTT系列主動防震臺和ArisMD系列主動防震模塊。

 

ArisTT主動防震臺:


ArisTT主動隔振臺/主動減震臺.png


描述:

輕量型、緊湊型的主動防震臺,用于抵消工作環境對靈敏度高的精密設備產生的不必要振動,提高精密設備的性能。流線型的結構設計允許它無縫地成為工作站環境的一部分,安裝簡易并且不需后續的調整。由工程師、物理學家和具有精密結構專業知識的領先工業顧問開發,ArisTT在減少振動和干擾方面的高效性標志著它是實驗室使用隔振的革命性和關鍵性工具。


可內置特殊振動模塊:

  * 允許測試目標系統或設備在不同振動條件下的性能。

  * 不同頻率和振幅可調

  * 模擬真實世界環境條件

  * 驗證目標系統或裝置內部部件對振動的響應

  * 使用標準外部傳感器了解振動和振動引起的內部部件共振對目標系統性能的影響

  * 提供學習目標系統限制的能力

  * 通過振動傳遞性的圖表收集和分析數據


產品規格:

  1、專利性結構

  2、6維主動隔振

  3、主動隔振頻率范圍:0.5~100Hz

隔振性能曲線圖.png

  4、高阻尼階躍響應

  5、沒有調試要求—安裝極簡

  6、完美適用大多數實驗室AFM、SEM隔振

  7、可與工具的內部隔振串聯操作


產業領域及應用:

  1、分析工具:高分辨率臺式顯微鏡AEM、SEM、ATM、TEM

  2、半導體設備:光刻

  3、納米測量:納米壓痕機、輪廓儀、干涉儀

  4、精密測量:分析天平、硬度測試

胚胎孵化器主動隔振臺.jpg干涉儀主動減震臺.jpg電子顯微鏡主動防震臺.jpg
輪廓儀主動隔振臺.jpg半導體設備主動減震臺.jpg激光設備主動防震臺.png

 


ArisMD主動防震模塊:


ARISMD.png

輕巧緊湊的主動防震模塊抵消了影響靈敏度高的精密設備的外界環境振動。流線型設計使得安裝過程簡易,無需后續調整。由具有精密設備專業知識的工程師、物理學家和領先的工業顧問開發。ArisMD主動隔振模塊在降低振動和干擾方面的高效性標志著它成為精密設備隔振的一個革命者和關鍵工具。


可多個獨立主動防震模塊一并安裝使用,可通過增加ArisMD主動防震模塊數量來支撐重量級大型精密設備,一個主動防震系統可搭配無限個ArisMD防震模塊,基于多個獨立的隔離器,能夠承受不同的重量;由于非常緊湊的尺寸,使得ArisMD主動隔振模塊安裝極簡,無需提升精密設備以及重新調校。


產品規格:

  1、專利性結構

  2、 6維主動隔振

  3、主動隔振頻率范圍:0.5~100Hz

     

20190618174709_56648.png

  4、高阻尼階躍響應

  5、能夠承載巨重的設備、工具、系統

  6、客制化定制,滿足您的設備隔振需求

  7、電源通信箱集中控制

  8、安裝簡易:無需提升設備及搭配安裝金屬版

  9、最大承載重量—無限

  10、極緊湊的結構:270mmx230mmx85mm


產業領域及應用:

振動水平應滿足敏感工具和儀器的規格。大多數工廠,實驗室和潔凈室地板往往不能滿足目標設備規格。使用KS設備為新的工廠、實驗室和潔凈室的靈敏設備及儀器提供適應的震動隔離,降低整體成本,滿足規格,可隨環境條件的變化而調整。

  1、大型重量級顯微鏡—SEM、TEM

  2、半導體設備

  3、X-Ray, CT, MRI 

SEM掃描電子顯微鏡主動隔振臺.jpgTEM投射電鏡主動減震臺.jpg電子顯微鏡主動防震臺.jpg
半導體設備主動隔振臺.pngFIB系統主動減震臺.png電子束曝光機主動防震臺.png


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